主な検査機器
ＣＣＤマイクロスコープ
（Ｘ４５００）
測定顕微鏡
全自動非接触３次元測定機（分解能０．１μ）
超精密測長器（分解能０．０４μ）
ＣＣＤ画像処理装置
走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）
工具顕微鏡
実体顕微鏡
投影機
レーザー式外径測定器
真円度測定器
面粗さ測定器
マイクロビッカース硬度計
各種デジタル測定器
恒温湿クリーンルーム（クラス１００）
